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微細(xì)電化學(xué)加工機(jī)床結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
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  • 發(fā) 布 人：落星辰
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  • )隨著越來(lái)越多的微細(xì)結(jié)構(gòu)出現(xiàn)在工業(yè)應(yīng)用中，微細(xì)加工的研究得到越來(lái)越廣泛的重視。近幾年來(lái)由于許多其它領(lǐng)域的新技術(shù)、新工藝的引入以及對(duì)電解加工過程機(jī)理的更深入研究，電解加工一改原來(lái)加工精度不高的特點(diǎn)，被應(yīng)用于高精度微細(xì)結(jié)構(gòu)的加工中，在微細(xì)電解技術(shù)方面的研究也迅速發(fā)展起來(lái)[1-2]。電解加工是利用金屬在電解液中可以發(fā)生陽(yáng)極溶解的原理，將零件加工成形的，其材料的減少過程以離子的形式進(jìn)行[3]。由于金屬離子的尺寸非常微小，所以這種微溶解去除方式使得電解加工技術(shù)在微細(xì)制造領(lǐng)域有著很大的發(fā)展?jié)摿�。研究微�?xì)電解加工技術(shù)，并研制開發(fā)相應(yīng)的微細(xì)電解加工系統(tǒng)具有重要的現(xiàn)實(shí)意義[4]。
    1.2 研究意義
    隨著微納米技術(shù)的不斷發(fā)展，微細(xì)加工技術(shù)作為實(shí)現(xiàn)其應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)和重要基礎(chǔ)，得到了的廣泛關(guān)注。電解加工作為一種基于陽(yáng)極溶解的減材技術(shù)，在其加工過程中，陽(yáng)極上的金屬原子不斷地失去電子成為離子而從工件上溶解，其材料的減少過程以離子的形式進(jìn)行[5]。由于金屬離子的尺寸非常微小，因此這種微溶解去除方式使得電解加工技術(shù)在微細(xì)制造領(lǐng)域有著很大的發(fā)展?jié)摿蛻?yīng)用前景[6]。近些年來(lái)微細(xì)電解加工技術(shù)成為國(guó)內(nèi)外微細(xì)加工領(lǐng)域中新的研究熱點(diǎn)，并在加工精度和加工尺度上取得一些突破性進(jìn)展但是，目前還存在加工效率低、無(wú)法加工深孔和窄縫等局限性，實(shí)用性尚不夠。研究經(jīng)濟(jì)、高效、實(shí)用的微細(xì)電解加工機(jī)床是本文研究的主要內(nèi)容。精密電解加工技術(shù)，電解加工中由于影響間隙電場(chǎng)和流場(chǎng)穩(wěn)定性的參數(shù)很多，控制比較困難，再加上加工時(shí)的雜散腐蝕，使得電解加工不易達(dá)到較高的加工精度[7-10]。
    由于到目前為止國(guó)內(nèi)外對(duì)微細(xì)電解加工的研究還基本處于起步階段，沒有系列化、實(shí)用化的微細(xì)電解加工機(jī)床設(shè)備真正面市，但微細(xì)加工技術(shù)是當(dāng)今世界...
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