傳感器論文
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- 傳感器論文半導體單晶硅材料在受到外力作用時,會產生肉眼察覺不到的極微小應變,其原子結構內部的電子能級狀態將發生變化,從而導致其電阻率劇烈的變化,由這種材料制成的電阻也隨之出現極大變化,這種物理效應稱為壓阻效應。硅壓阻式傳感器就是根據半導體材料的壓阻效應,在半導體材料的基片上經擴散電阻而制成的.基片可直接作為測量傳感元件,擴散電阻在基片內接成電橋形式,當基片受到外力作用而產生形變時,各電阻值將發生變化,電橋就會產生相應的不平衡輸出。MPX2100壓力傳感器是在一片硅基片上采用X型壓敏電阻元件,該壓敏電阻元件內有一片硅膜應變計.傳感器的每一片芯片上都含有一薄膜電阻網絡,該電阻網絡利用離子注入工藝光刻在硅膜上,極為精確.傳感器內還有熱敏電阻,能自動進行溫度補償.這種設計方法避免了采用惠斯登電橋結構時,四個橋臂電阻不匹配而引起的測量誤差大、零點漂移較大、不易調整等缺點。MPX2100壓力傳感器的精度高、重復性好,它可以在0～85℃的溫度范圍內工作,測量的壓力差動范圍為0～100 kPa,線性度為±0.25%,滿量程輸出電壓為40 mV,響應時間小于1 ms;供電電源可以使用恒壓源,也可以使用恒流源.MPX2100還具有良好的介質兼容性,可以直接對干燥無腐蝕性氣量。
進氣支氣管絕對壓力傳感器（Manifold Absolutely Pressure Sensor ,MAP）也稱進氣壓力傳感器用于D型汽油噴射系統,它在汽油噴射系統中所起的作用是測量進氣量從而決定噴油量。進氣支氣管絕對壓力傳感器根據發動機的負荷狀態測出進氣歧管內絕對壓力(真空度)的變化,并轉換成電壓信號,與轉速信號一起輸送到發動機電控單元(ECU),作為確定噴油器基本噴油量的依據.在當今發動機電子控制系統中,應用最為廣泛的是半導體壓敏電阻式進氣支氣管壓力傳感器,下面介紹其結構原理及工作原理。
半導體壓敏電阻式進氣支氣管絕對壓力傳感器，其壓力轉換元件是利用半導體的壓阻效應制成的硅膜片。硅膜片的一面是真空室，另一面...
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