LED廠房的消防設計
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- 2、MOCVD設備自身采取的安全措施（設備安裝說明書、操作指南等）；
XXXX科技有限公司入住XXX技術開發區的《LED芯片生產項目》中，LED外延片生產使用MOCVD設備。該設備用NH3、H2、N2氣體作為原材料。
MOCVD設備是用來生長半導體材料的重要設備，氣體通道都使用高質量的不銹鋼材料制成，管道全部采用焊接或VCR方式連接，以確保管道和腔體具有相當良好的氣密性，氣體泄漏的可能性極小；同時，MOCVD在現場安裝時實施嚴格的氣密性檢查，確保設備系統的氣密性能。不僅如此，MOCVD設備本身還設有氫氣、氨氣、氧氣等檢測裝置，在設備運行的過程中，一旦檢測到氫氣、氨氣泄漏，管道閥門自動關閉，并自動停止MOCVD設備工作。
此外，本公司使用的MOCVD設備的反應腔也采用了特殊的結構，反應工作室的外形尺寸650mm長×450mm寬×450mm高，但其使用氫氣的內部腔體的寬度僅為150mm、高度不足20mm， 內部腔體中的氣體處于常壓工作狀態，使MOCVD設備中的氣體處于最小量，同時內部腔體外與反應工作室內壁之間充有氮氣保護，進一步提高了設備的安全性。
由于在設備的構造方面采取...
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