光電行業廢氣處理圖
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光電行業廢氣處理設計圖
光電行業產品包括:觸控感應組件、LED面板顯示屏等, 廢氣主要為VOCs有機廢氣、H2SO4廢氣。廢氣主要來自于清洗、蝕刻、涂覆、干燥等工序。光電行業的蝕刻工序(濕式化學蝕刻)是利用液體化學物質與基質表面的特定材料反應溶出,蝕刻工序產生有機及無機酸共排現象,因此對于光電企業除了常有酸氣臭味排放及處理效率,還須同時符合有機物及無機酸排放標準。目前行業內多數采用濕式洗滌搭配酸堿中和設備,對于水溶性佳且解離性高的酸性氣體有不錯的凈化處理效果,但是因為濕式洗滌技術對于低濃度(<3ppmv)的酸性氣體處理效果并不佳,尤其部分酸氣的嗅味閾值很低(10ppb),使用傳統的處理設備,無法達到相關標準的要求,也因此經常發生居民投訴的問題。目前采用濕式洗滌設備處理酸性氣體,排氣風量約600NCMM,無法從根本上解決因酸氣所衍生的臭味問題。光電業VOCs污染處理技術方案本方案主要為解決濕式洗滌設備排氣所產生的臭味問題,因此選擇處理技術必須要符合能處理低濃度有機及無機酸氣,以及耐高濕度的環境技術。
廢氣處理工藝:主要為PP旋流噴淋塔+活性炭吸附塔處理裝置。...