第3章 精密磨削和超精密磨削
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3.3.1 精密磨削的加工概念
3.3.2 普通砂輪精密磨削
3.3.3 超硬磨料砂輪精密磨削
3.3.4 砂帶精密磨削
3.3.5 超精密磨削加工
一、精密磨削的概念
精密磨削是指在精密磨床上，選擇細(xì)粒度砂輪，并通過(guò)對(duì)砂輪的精細(xì)修整，使磨粒具有微刃型和等高興，磨削后，使被磨削表面所留下的磨削痕跡極其微細(xì)、殘留度極小；再加上無(wú)火花磨削階段的作用，獲得加工精度為1~01μm和表面粗糙度Ra為0.2~0.025μm的表面磨削方法。主要是鋼鐵等黑色金屬和半導(dǎo)體等脆硬材料進(jìn)行精密加工的主要方法之一。
二、精密磨床
精密磨削要在精密磨床上進(jìn)行。精密磨床應(yīng)滿足的要求：
1、高幾何精度：主要有砂輪主軸回轉(zhuǎn)精度和導(dǎo)軌平直度，以保證工件的幾何形狀精度要求，主軸軸承一般采用動(dòng)壓和動(dòng)靜壓組合軸承。
2、低速進(jìn)給運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性：要求無(wú)爬行和沖擊現(xiàn)象，能平穩(wěn)工作。特殊設(shè)計(jì)液壓系統(tǒng)，采取排除空氣、低流量節(jié)流閥、工作臺(tái)導(dǎo)軌壓力潤(rùn)滑。
3、減少振動(dòng)
1）電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)子應(yīng)進(jìn)行動(dòng)平衡，電動(dòng)機(jī)與砂輪架之間進(jìn)行隔振；
2）砂輪要進(jìn)行動(dòng)平衡；
3）精密磨床最好安裝在防振地基上。...
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