ST2253型數字式四探針測試儀技術參數
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- ST2253型數字式四探針測試儀技術參數ST2253 型數字式四探針電阻率/方阻測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量半導體材料的電阻率，測量半導體擴散層、半導體或金屬或有機薄膜涂層的薄層電阻（亦稱方阻）。換上特制的四探針測試夾具，還可以對金屬導體的低、中值電阻進行測量。
儀器由主機、測試探頭（可選配測試臺）等部分組成，測試結果由主機數碼管直接顯示。也可通過USB端口連接PC機，由配套軟件在PC機上操作，其數據可由軟件顯示、分析、保存和打印！
主機主要由精密恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機系統組成，輕觸按鍵操作，自動/手動一體化。測試探頭可采用高耐磨碳化鎢探針制成，也可選擇薄膜方阻專用測試探頭。故適用范圍廣、定位準確、游移率小、壽命長。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、測量簡便、結構緊湊、使用方便等特點。
儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合。
三、基本技術參數
3.1測量范圍
電阻率： 1×10-4～2×105Ω-cm。
方塊電阻： 1×10-3～2×105Ω/□。
電 阻： 1×10-4～2×105Ω。
3.2可測半導體材料尺寸（SZT-C型測試臺參數）
測試臺方式：直 徑： Φ15～180mm, 或矩形180mmX180mm以下，高度： ≤100mm。
手持探頭方式：不限。
2.3測量方位:
軸向、徑向均可
2.4. 4 1/2 位數字電壓表：
⑴量程： 200mV
⑵誤差：±0.1%讀數±2 字
2.5數控恒流源
⑴電流輸出：直流電流 0～100mA 連續可調，由交流電源供電。
⑵量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
⑶誤差：±0.5%讀數±2 字
2.6四探針測試探頭（ST2253-F01型探頭）
⑴探針間距 1mm
(2)探針壓力: 0～2kg 可調,最大壓力約 2kg
(3)探針：碳化鎢，Φ0.5mm
2.7.電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W
2.8.外形尺寸：
主機 260mm（長）×210 mm（寬）×125mm（高）
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