超精密加工技術
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精密和超精密加工論文
機械09-1
唐東東
20090975
超精密加工技術的發展狀況
一．超精密加工技術
1.1超精密加工技術的發展，直接影響到一個國家尖端技術和國防工業的發展，因此世界各國對此都極為重視，投入很大力量進行研究開發，同時實行技術保密，控制關鍵加工技術及設備出口。
超精密加工技術，是現代機械制造業最主要的發展方向之一。在提高機電產品的性能、質量和發展高新技術中起著至關重要的作用，并且已成為在國際競爭中取得成功的關鍵技術. 超精密加工是指亞微米級(尺寸誤差為0.3～0.03μm，表面粗糙度為Ra0.03～0.005μm)和納米級(精度誤差為0.03μm，表面粗糙度小于 Ra0.005μm)精度的加工。實現這些加工所采取的工藝方法和技術措施，則稱為超精加工技術。加之測量技術、環境保障和材料等問題，人們把這種技術總稱為超精工程。
1.2超精密加工主要包括三個領域：
（1）超精密切削加工如金剛石...
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