畢業論文劃片機
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- 畢業論文劃片機硅片劃片機是對半導體硅片進行高速磨削分割的一種機器,這種機器已經投入應用。而本文是通過在MM7132A型精密臥軸矩臺平面磨床的基礎上進行改裝,即成為專用的硅片劃片機,對平面磨床改裝的主要部分有電解裝置、絕緣裝置和一個回轉工作臺。本文主要介紹陰陽極和回轉傳動系統的設計。
金剛石砂輪劃片容易堵塞和磨粒磨損變鈍是影響磨削質量和加工效率的主要原因,所以采用有效的砂輪修整方法,使砂輪保持良好的鋒利狀態和磨削性能是解決工程上一些硬脆材料磨削加工的關鍵技術之一。本文介紹了在線電解修銳(ELID)技術,對金屬結合劑的金剛石劃片進行電解修銳;并在一定程度上介紹電解修銳的一般特點。
ELID在線連續電解砂輪修整技術是在電化學加工、電解磨削原理基礎上發展起來的一項磨削新技術,主要用于硬脆材料超精密磨削過程中金屬基結合劑超硬微細磨粒砂輪的在線修整。在ELID磨削過程中,金屬基結合劑砂輪作為陽極,工具電極作陰極,在砂輪外圓表面和電極的間隙中通過有電解能力的磨削液。在電源作用下,利用電解過程中的陽極溶解效應對砂輪表層的金屬基體進行電解去除。由于磨粒不會被電解,逐漸露出砂輪表面形成一定的出刀高度和容屑空間,從而形成對砂輪的修整作用。
在對ELID磨削原理進行深入分析總結的基礎上,本文首先對ELID磨削必備的陰極、陽極電刷等裝置進行設計開發,分析...